The study of crystallization of AlN induced by ion implantation into AlNx thin films

• Material Type: 博士論文
• Title: The study of crystallization of AlN induced by ion implantation into AlNx thin films
• Author/Editor: 小林健三 [著]
• Author Heading: 小林, 健三 コバヤシ, ケンゾウ
• Alternative Title: イオン注入による窒化アルミニウム薄膜中の結晶成長の研究 イオン チュウニュウ ニ ヨル チッカ アルミニウム ハクマクチュウ ノ ケッショウ セイチョウ ノ ケンキュウ
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成2年12月20日
• Date Granted (W3CDTF): 1990
• Dissertation Number: 甲第4224号
• Degree Type: 工学博士
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51; UT31
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-91-B180
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000236894; http://id.ndl.go.jp/bib/000000236894
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

ABSTRACT

CHAPTER 1 INTRODUCTION

CHAPTER 2 COMPOSITION AND STRUCTURE OF N-IMPLANTED AlN₀.₈ THIN FILMS

2.1 Introduction