微細加工用電界電離型ヘリウムイオン源と集束技術に関する研究
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Table of Contents
目次
第一章 序論
p1
1-1 微細加工と集束イオンビーム技術
p1
1-2 電界電離型イオン源の開発状況と本研究の位置づけ
p2
1-3 本論文の構成
p5
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ビサイ カコウヨウ デンカイ デンリガタ ヘリウム イオンゲン ト シュウソク ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 堀内敬 [著]
- Author Heading
- 堀内, 敬 ホリウチ, ケイ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成2年12月19日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1990
- Dissertation Number
- 乙第5220号
- Degree Type
- 工学博士