レーザ再結晶化SOI技術とその三次元回路素子への応用の研究
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Table of Contents
目次
第1章 序章
p1
1-1 研究の背景
p1
1-2 三次元回路素子
p2
1-3 三次元回路素子のためのSOI技術
p3
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- レーザ サイケッショウカ SOI ギジュツ ト ソノ サンジゲン カイロ ソシ エ ノ オウヨウ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 須賀原和之 [著]
- Author Heading
- 須賀原, 和之 スガハラ, カズユキ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成2年12月19日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1990
- Dissertation Number
- 乙第5224号
- Degree Type
- 工学博士