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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Author/Editor
- 内本喜晴 [著]
- Author Heading
- 内本, 喜晴, 1963- ウチモト, ヨシハル, 1963- ( 00913032 )Authorities
- Alternative Title
- 低温プラズマプロセスを用いたイオン導電性薄膜の作製に関する研究 テイオン プラズマ プロセス オ モチイタ イオン ドウデンセイ ハクマク ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Degree grantor/type
- 京都大学
- Date Granted
- 平成3年3月23日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1991
- Dissertation Number
- 乙第7486号
- Degree Type
- 工学博士