イオンビームを用いた電子顕微鏡試料の無蒸着およびエッチング法による観察とその場観察イオンビーム装置の開発に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: イオンビームを用いた電子顕微鏡試料の無蒸着およびエッチング法による観察とその場観察イオンビーム装置の開発に関する研究
• Title Transcription: イオン ビーム オ モチイタ デンシ ケンビキョウ シリョウ ノ ムジョウチャク オヨビ エッチングホウ ニ ヨル カンサツ ト ソノバ カンサツ イオン ビーム ソウチ ノ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 村中祥悟 [著]
• Author Heading: 村中, 祥悟 ムラナカ, ヨシノリ
• Degree grantor/type: 工学院大学
• Date Granted: 平成3年3月7日
• Date Granted (W3CDTF): 1991
• Dissertation Number: 乙第46号
• Degree Type: 工学博士
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51; UT31
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-91-H181
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000239102; http://id.ndl.go.jp/bib/000000239102
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 緒言

1･1 電子顕微鏡とイオンビーム照射装置の発達

1･2 試料作製技術の発達とイオンビーム照射装置の利用

1･3 論文の要旨