エピタキシャルAl[2]O[3]薄膜を用いたSOI構造形成に関する研究
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Table of Contents
論文要旨
目次
第1章 緒論
p1
1.1 SOI 構造の特徴とその応用
p1
1.2 SOI 構造形成技術
p6
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- エピタキシャル Al2O3 ハクマク オ モチイタ SOI コウゾウ ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 澤田和明 [著]
- Author Heading
- 澤田, 和明 サワダ, カズアキ
- Degree grantor/type
- 豊橋技術科学大学
- Date Granted
- 平成3年3月22日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1991
- Dissertation Number
- 甲第42号
- Degree Type
- 工学博士