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O[2]およびNO分子線を用いたSi(100)表面反応素過程の動力学的研究

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Material Type: 博士論文
Title: O[2]およびNO分子線を用いたSi(100)表面反応素過程の動力学的研究
Title Transcription: O2 オヨビ NO ブンシセンオモチイタ Si(100) ヒョウメンハンノウソカテイノドウリキガクテキケンキュウ
Author/Editor: 三宅竜也 [著]
Author Heading: 三宅, 竜也ミヤケ, タツヤ
Degree grantor/type: 豊橋技術科学大学
Date Granted: 平成3年3月22日
Date Granted (W3CDTF): 1991
Dissertation Number: 甲第44号
Degree Type: 工学博士
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
UT31
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-91-J267
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000239620
http://id.ndl.go.jp/bib/000000239620
Bibliographic Record Category (NDL): 213