薄膜トランジスタの膜質と界面状態の改善に関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1-1.本研究の背景と目的
p1
1-2.本論文の構成
p4
参考文献
p11
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ハクマク トランジスタ ノ マクシツ ト カイメン ジョウタイ ノ カイゼン ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 平中弘一 [著]
- Author Heading
- 平中, 弘一 ヒラナカ, コウイチ
- Degree grantor/type
- 九州大学
- Date Granted
- 平成3年1月24日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1991
- Dissertation Number
- 乙第4850号
- Degree Type
- 工学博士