博士論文

スパッタリングによる表面構造変質層形成の研究

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スパッタリングによる表面構造変質層形成の研究

Call No. (NDL)
UT51-91-G11
Bibliographic ID of National Diet Library
000000239946
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3054324
Material type
博士論文
Author
森下敏 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
名古屋工業大学,工学博士
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博士論文

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Table of Contents

  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 はじめに

    p1

  • 1.2 コーンの形成

    p2

  • 1.3 本研究の目的と各章の概要

    p7

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
スパッタリングによる表面構造変質層形成の研究
Title Transcription
スパッタリング ニ ヨル ヒョウメン コウゾウ ヘンシツソウ ケイセイ ノ ケンキュウ
Author/Editor
森下敏 [著]
Author Heading
森下, 敏 モリシタ, サトシ
Degree grantor/type
名古屋工業大学
Date Granted
平成3年3月23日
Date Granted (W3CDTF)
1991
Dissertation Number
甲第58号
Degree Type
工学博士