プラズマを用いたダイヤモンド膜の低温気相合成
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- プラズマ オ モチイタ ダイヤモンドマク ノ テイオン キソウ ゴウセイ
- Author/Editor
- 中尾節男 [著]
- Author Heading
- 中尾, 節男 ナカオ, セツオ
- Degree grantor/type
- 名古屋工業大学
- Date Granted
- 平成3年3月23日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1991
- Dissertation Number
- 甲第64号
- Degree Type
- 工学博士