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博士論文

ECRプラズマCVD法による低圧・低温下での大面積ダイヤモンド薄膜の合成に関する研究

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ECRプラズマCVD法による低圧・低温下での大面積ダイヤモンド薄膜の合成に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-91-G158
Bibliographic ID of National Diet Library
000000240093
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3085226
Material type
博士論文
Author
魏津 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
大阪大学,工学博士
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1･1 CVDダイヤモンドの歴史

    p1

  • 1･2 CVDダイヤモンドの形成

    p2

  • 1･3 本研究の目的

    p9

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
ECRプラズマCVD法による低圧・低温下での大面積ダイヤモンド薄膜の合成に関する研究
Title Transcription
ECR プラズマ CVDホウ ニ ヨル テイアツ テイオンカ デ ノ ダイメンセキ ダイヤモンド ハクマク ノ ゴウセイ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
魏津 [著]
Author Heading
魏, 津 ウェイ, ジン
Degree grantor/type
大阪大学
Date Granted
平成3年3月26日
Date Granted (W3CDTF)
1991
Dissertation Number
甲第4344号
Degree Type
工学博士