微細高輝度集束イオンビーム形成用光学系の開発研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1-1 イオンビームプロセスの現状と展望
p1
1-2 本研究の目的
p3
1-3 本論文の構成
p4
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ビサイ コウキド シュウソク イオン ビーム ケイセイヨウ コウガクケイ ノ カイハツ ケンキュウ
- Author/Editor
- 澤良木宏 [著]
- Author Heading
- 澤良木, 宏 サワラギ, ヒロシ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成3年2月26日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1991
- Dissertation Number
- 乙第5296号
- Degree Type
- 工学博士