二次イオン質量分析(SIMS)の機能拡張に関する基礎的研究
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Table of Contents
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目次
第1章 序論
p1
1-1 緒言
p1
1-2 二次イオン質量分析(SIMS)の定量化
p2
1-3 絶縁性材料のSIMS分析
p18
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ニジ イオン シツリョウ ブンセキ (SIMS) ノ キノウ カクチョウ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
- Author/Editor
- 井上和之 [著]
- Author Heading
- 井上, 和之 イノウエ, カズユキ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成3年2月28日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1991
- Dissertation Number
- 乙第5305号
- Degree Type
- 工学博士