熱及び光CVD窒化シリコン膜のMNOS半導体不揮発性記憶素子への応用に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 熱及び光CVD窒化シリコン膜のMNOS半導体不揮発性記憶素子への応用に関する研究
• Title Transcription: ネツ オヨビ ヒカリ CVD チッカ シリコンマク ノ MNOS ハンドウタイ フキハツセイ キオク ソシ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 金泰弘 [著]
• Author Heading: 金, 泰弘 キム, テーホン
• Degree grantor/type: 日本大学
• Date Granted: 平成3年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1991
• Dissertation Number: 甲第2006号
• Degree Type: 工学博士
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51; UT31
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-91-G376
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000240311; http://id.ndl.go.jp/bib/000000240311
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1-1 緒論

1-2 半導体不揮発性メモリ素子の概要

1-3 MNOS構造不揮発性メモリ素子