スパッタ法による銅酸化物系積層膜の作製と電気伝導特性に関する研究
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Table of Contents
目次
1章 序論
p1
1-1 研究の位置づけ
p1
1-2 研究の目的と意義
p4
1-3 研究の構成
p6
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- スパッタホウ ニ ヨル ドウ サンカブツケイ セキソウマク ノ サクセイ ト デンキ デンドウ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 中村稔之 [著]
- Author Heading
- 中村, 稔之 ナカムラ, トシユキ
- Degree grantor/type
- 日本大学
- Date Granted
- 平成3年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1991
- Dissertation Number
- 甲第2007号
- Degree Type
- 工学博士