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イオン注入によるLSI用電極AIにおけるヒロックの抑制とその機構に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: イオン注入によるLSI用電極AIにおけるヒロックの抑制とその機構に関する研究
Title Transcription: イオンチュウニュウニヨル LSIヨウデンキョク AI ニオケルヒロックノヨクセイトソノキコウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 亀田昌宏 [著]
Author Heading: 亀田, 昌宏カメダ, マサヒロ
Degree grantor/type: 関西学院大学
Date Granted: 平成3年3月20日
Date Granted (W3CDTF): 1991
Dissertation Number: 乙第152号
Degree Type: 理学博士
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
UT21
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-91-K323
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000240798
http://id.ndl.go.jp/bib/000000240798
Bibliographic Record Category (NDL): 213