シリコンの固相エピタキシャル成長に関する研究
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Table of Contents
[目次]
第1章 序論
p1
1.1 エピタキシャル成長の必要性
p1
1.2 固相エピタキシャル成長の利点と問題点
p1
1.3 本研究の概要と意義
p3
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シリコン ノ コソウ エピタキシャル セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 上野智雄 [著]
- Author Heading
- 上野, 智雄 ウエノ, トモオ ( 001134622 )Authorities
- Degree grantor/type
- 早稲田大学
- Date Granted
- 平成3年3月15日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1991
- Dissertation Number
- 甲第865号
- Degree Type
- 工学博士