超高温高周波誘導プラズマへの液体噴霧による酸化物超微粒子および薄膜の合成に関する研究
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Table of Contents
論文目次
第1章 緒論
p1
1-1 緒言
p1
1-2 プラズマの分類
p4
1-3 高周波誘導プラズマ(ICP)
p7
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- チョウコウオン コウシュウハ ユウドウ プラズマ エ ノ エキタイ フンム ニ ヨル サンカブツ チョウビリュウシ オヨビ ハクマク ノ ゴウセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 鈴木光雄 [著]
- Author Heading
- 鈴木, 光雄 スズキ, ミツオ
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成3年3月28日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1991
- Dissertation Number
- 甲第4433号
- Degree Type
- 工学博士