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再結晶化法によるSiGe/Siヘテロ構造形成と異径原子導入による格子不整補償に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 再結晶化法によるSiGe/Siヘテロ構造形成と異径原子導入による格子不整補償に関する研究
Title Transcription: サイケッショウカホウニヨル SiGe/Si ヘテロコウゾウケイセイトイケイゲンシドウニュウニヨルコウシフセイホショウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 太田謙 [著]
Author Heading: 太田, 謙オオタ, ケン
Degree grantor/type: 東京工業大学
Date Granted: 平成3年3月26日
Date Granted (W3CDTF): 1991
Dissertation Number: 甲第2345号
Degree Type: 工学博士
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
NDLC: UT51
UT31
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-91-N257
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000000242334
http://id.ndl.go.jp/bib/000000242334
Bibliographic Record Category (NDL): 213