デュアル・イオンビーム式スパッタリングによる鉄基多層膜の作製に関する研究
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Table of Contents
論文目録
第1章､ 緒論
p1
第2章､ デュアル･イオンビームスパッタ法
p4
2-1 はじめに
p4
2-2 イオン源
p4
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- デュアル イオン ビームシキ スパッタリング ニ ヨル テッキ タソウマク ノ サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 永久保雅夫 [著]
- Author Heading
- 永久保, 雅夫 ナガクボ, マサオ
- Degree grantor/type
- 東京工業大学
- Date Granted
- 平成2年6月30日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1990
- Dissertation Number
- 乙第2074号
- Degree Type
- 工学博士