Studies on polycrystalline silicon films for high-speed memory LSI's

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies on polycrystalline silicon films for high-speed memory LSI's
• Author/Editor: 相良和彦 [著]
• Author Heading: 相良, 和彦 サガラ, カズヒコ
• Alternative Title: 超高速メモリLSIにおける多結晶シリコン薄膜の研究 チョウコウソク メモリ LSI ニ オケル タケッショウ シリコン ハクマク ノ ケンキュウ
• Degree grantor/type: 慶應義塾大学
• Date Granted: 平成3年3月5日
• Date Granted (W3CDTF): 1991
• Dissertation Number: 乙第2323号
• Degree Type: 工学博士
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51; UT31
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-91-P308
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000242841; http://id.ndl.go.jp/bib/000000242841
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

CONTENT

Chapter1.Introduction

1.1 Motivation

1.2 Objective and contents of this thesis