リンをドープしたn型シリコン中に化学エッチングによって導入される欠陥
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
第2章 実験方法
p4
2.1 試料の作製
p4
2.2 DLTSの測定方法
p6
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- リン オ ドープシタ nガタ シリコンチュウ ニ カガク エッチング ニ ヨッテ ドウニュウサレル ケッカン
- Author/Editor
- 米田稔 [著]
- Author Heading
- 米田, 稔 ヨネタ, ミノル
- Degree grantor/type
- 岡山大学
- Date Granted
- 平成3年9月30日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1991
- Dissertation Number
- 甲第984号
- Degree Type
- 理学博士