Excited-plasma synthesis of fluorine- and silicon-containing organic thin films for surface science

• Material Type: 博士論文
• Title: Excited-plasma synthesis of fluorine- and silicon-containing organic thin films for surface science
• Author/Editor: 杉本岩雄 [著]
• Author Heading: 杉本, 岩雄 スギモト, イワオ
• Alternative Title: 含フッ素系および含ケイ素系有機薄膜の励起プラズマによる合成とその表面物性 ガン フッソケイ オヨビ ガン ケイソケイ ユウキ ハクマク ノ レイキ プラズマ ニ ヨル ゴウセイ ト ソノ ヒョウメン ブッセイ
• Degree grantor/type: 京都大学
• Date Granted: 平成3年11月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1991
• Dissertation Number: 乙第7686号
• Degree Type: 工学博士
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51; UT31
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-91-X136
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000245191; http://id.ndl.go.jp/bib/000000245191
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

CONTENTS

General Introduction

Part I Plasma-Synthesis and Properties of Fluorine-Containing Organic Thin Films

Chapter1 Optical Emission Studies on Interaction between Halogenated Carbon Species and Noble Gas during Fluoropolymer Sputtering