スパッタリング法による立方晶窒化ホウ素の作製
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Table of Contents
博士論文目次
p1
第一章 緒言
p1
第二章 本研究の背景
p4
2.1 窒化ホウ素
p4
2.2 スパッタリングプロセス
p8
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- スパッタリングホウ ニ ヨル リッポウショウ チッカ ホウソ ノ サクセイ
- Author/Editor
- 三重野正寛 [著]
- Author Heading
- 三重野, 正寛 ミエノ, マサヒロ
- Degree grantor/type
- 東京大学
- Date Granted
- 平成3年3月29日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1991
- Dissertation Number
- 甲第9033号
- Degree Type
- 工学博士