微細電子材料のマイクロ接合現象とプロセス制御に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 微細電子材料のマイクロ接合現象とプロセス制御に関する研究
• Title Transcription: ビサイ デンシ ザイリョウ ノ マイクロ セツゴウ ゲンショウ ト プロセス セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 辛永議 [著]
• Author Heading: 辛, 永議 シン, ヨンイ
• Degree Grantor: 大阪大学
• Date Granted: 平成4年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1992
• Dissertation Number: 甲第4561号
• Degree Type: 工学博士
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Alias of Author: Shin, Yong-ui
• NDLC: UT51; UT31
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-92-E155
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000248697; http://id.ndl.go.jp/bib/000000248697
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

• DOI: 10.11501/3087941; https://doi.org/10.11501/3087941
• Persistent ID (NDL): info:ndljp/pid/3087941; https://dl.ndl.go.jp/pid/3087941
• Collection: 障害者向け資料
• Collection (Materials For Handicapped People:1): テキストデータ
• Collection (Materials For Handicapped People:2): プレーンテキスト
• Collection (particular): 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00014
• Producer: 国立国会図書館
• Date Accepted (W3CDTF): 2011-12-05T14:10:19+09:00
• Format (IMT): image/jp2
• Access Restrictions: 国立国会図書館内限定公開
• Service for the Digitized Contents Transmission Service: 図書館・個人送信対象
• Availability of remote photoduplication service: 可
• Call No.: UT51-92-E155
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館デジタルコレクション; https://dl.ndl.go.jp

Table of Contents

目次

第1章 序論

第2章 半導体集積回路の回路基板実装での接合プロセスの現状と問題点

第3章 接合材としてのめっき膜の形成条件との関連性及び形成条件の選定

3.1 はじめに