集束イオンビーム装置の開発と微細加工への応用に関する研究
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Table of Contents
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目次
p1
第1章 序論
p1
1.1 電子デバイスの微細加工技術
p1
1.2 集束イオンビーム技術の開発動向
p5
1.3 集束イオンビーム加工技術の特徴と開発課題
p7
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シュウソク イオン ビーム ソウチ ノ カイハツ ト ビサイ カコウ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 山口博司 [著]
- Author Heading
- 山口, 博司 ヤマグチ, ヒロシ
- Degree Grantor
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成4年2月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1992
- Dissertation Number
- 乙第5652号
- Degree Type
- 工学博士