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博士論文

集束イオンビーム装置の開発と微細加工への応用に関する研究

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集束イオンビーム装置の開発と微細加工への応用に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-92-E274
Bibliographic ID of National Diet Library
000000248816
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3088060
Material type
博士論文
Author
山口博司 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
大阪大学,工学博士
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博士論文

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  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 電子デバイスの微細加工技術

    p1

  • 1.2 集束イオンビーム技術の開発動向

    p5

  • 1.3 集束イオンビーム加工技術の特徴と開発課題

    p7

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
集束イオンビーム装置の開発と微細加工への応用に関する研究
Title Transcription
シュウソク イオン ビーム ソウチ ノ カイハツ ト ビサイ カコウ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
山口博司 [著]
Author Heading
山口, 博司 ヤマグチ, ヒロシ
Degree grantor/type
大阪大学
Date Granted
平成4年2月25日
Date Granted (W3CDTF)
1992
Dissertation Number
乙第5652号
Degree Type
工学博士