Non-destructive analysis using soft X-ray emission spectroscopy (SXES) : application for metal/semiconductor contacts and construction of a new SXES apparatus for surface and interface studies

• Material Type: 博士論文
• Title: Non-destructive analysis using soft X-ray emission spectroscopy (SXES) : application for metal/semiconductor contacts and construction of a new SXES apparatus for surface and interface studies
• Author/Editor: 渡部宏邦 [著]
• Author Heading: 渡部, 宏邦, 1944- ワタベ, ヒロクニ, 1944- ( 00152365 )Authorities
• Alternative Title: 軟X線分光法を用いた非破壊分析法とその金属/半導体接合系評価への応用 ナンXセン ブンコウホウ オ モチイタ ヒハカイ ブンセキホウ ト ソノ キンゾク
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成4年2月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1992
• Dissertation Number: 乙第5654号
• Degree Type: 工学博士
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51; UT31
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-92-E276
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000248818; http://id.ndl.go.jp/bib/000000248818
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

CONTENTS

Chapter1:Introduction

References

Chapter2:Experimental Methods

2.1 Soft X-Ray Emission Spectroscopy:Principles for Grating Monochromator