高清浄CVD法によるSi-Ge系薄膜の低温形成とその応用に関する研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
1.1 本研究の背景
p1
1.2 本研究の目的
p3
参考文献
p4
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- コウセイジョウ CVDホウ ニ ヨル Si-Geケイ ハクマク ノ テイオン ケイセイ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 加藤学 [著]
- Author Heading
- 加藤, 学 カトウ, マナブ
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成4年3月27日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1992
- Dissertation Number
- 甲第4613号
- Degree Type
- 工学博士