シラン・ガスソースMBE法に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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Table of Contents
もくじ
1章 序論
p1
2章 成長装置作成および結晶表面観察
p7
2-1 実験装置概要
p7
2-2 アルミニウム合金製チャンバー
p11
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title
- Title Transcription
- シラン ガス ソース MBEホウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 廣瀬文彦 [著]
- Author Heading
- 廣瀬, 文彦 ヒロセ, フミヒコ
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成4年3月27日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1992
- Dissertation Number
- 甲第4619号
- Degree Type
- 工学博士