グロー放電におけるスパッタリングならびに析出現象の分光化学的測定による研究

• Material Type: 博士論文
• Title: グロー放電におけるスパッタリングならびに析出現象の分光化学的測定による研究
• Title Transcription: グロー ホウデン ニ オケル スパッタリング ナラビニ セキシュツ ゲンショウ ノ ブンコウ カガクテキ ソクテイ ニ ヨル ケンキュウ
• Author/Editor: 辻幸一 [著]
• Author Heading: 辻, 幸一 ツジ, コウイチ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成4年3月27日
• Date Granted (W3CDTF): 1992
• Dissertation Number: 甲第4636号
• Degree Type: 工学博士
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51; UT31
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-92-G357
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000249338; http://id.ndl.go.jp/bib/000000249338
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

1-1 グロー放電プラズマの工業的利用

1-2 プラズマ診断に用いられている分析手法

1-3 本研究の目的