炭化ケイ素/炭素系傾斜機能材料の化学気相析出法による合成と諸性質に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 炭化ケイ素/炭素系傾斜機能材料の化学気相析出法による合成と諸性質に関する研究
• Title Transcription: タンカ ケイソ / タンソケイ ケイシャ キノウ ザイリョウ ノ カガク キソウ セキシュツホウ ニ ヨル ゴウセイ ト ショセイシツ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 佐々木眞 [著]
• Author Heading: 佐々木, 眞 ササキ, マコト
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成4年3月18日
• Date Granted (W3CDTF): 1992
• Dissertation Number: 乙第5791号
• Degree Type: 工学博士
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51; UT31
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-92-G533
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000249514; http://id.ndl.go.jp/bib/000000249514
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目次

第1章 緒論

1-1.目的

1-2.予備考察

第2章 Si-C-H-ClのCVD平衡組成計算