X線マスクメンブレン用アモルファスB-N膜及びB-N-C膜の作製と評価
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Table of Contents
目次
第1章 緒論
p1
第1節 緒言-集積回路と露光技術-
p1
第2節 本研究の目的と概要
p6
第2章 X線リソグラフィ技術とX線マスクメンブレン
p9
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- Xセン マスク メンブレンヨウ アモルファス B-Nマク オヨビ B-N-Cマク ノ サクセイ ト ヒョウカ
- Author/Editor
- 榊原正彦 [著]
- Author Heading
- 榊原, 正彦 サカキハラ, マサヒコ
- Degree grantor/type
- 長岡技術科学大学
- Date Granted
- 平成4年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1992
- Dissertation Number
- 甲第61号
- Degree Type
- 工学博士