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博士論文

シリコン超大規模集積回路のためのメタライゼーションに関する研究

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シリコン超大規模集積回路のためのメタライゼーションに関する研究

Call No. (NDL)
UT51-92-K227
Bibliographic ID of National Diet Library
000000250978
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3088950
Material type
博士論文
Author
須黒恭一 [著]
Publisher
-
Date granted
平成4年3月5日
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Degree grantor and degree
早稲田大学,工学博士
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博士論文

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Table of Contents

Provided by：国立国会図書館デジタルコレクション

  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 はじめに

    p1

  • 1.2 シリコン超大規模集積回路におけるコンタクトの諸問題

    p4

  • 1.3 本研究の目的

    p10

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
シリコン超大規模集積回路のためのメタライゼーションに関する研究
Title Transcription
シリコン チョウダイキボ シュウセキ カイロ ノ タメ ノ メタライゼーション ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
須黒恭一 [著]
Author Heading
須黒, 恭一 スグロ, キョウイチ
Degree Grantor
早稲田大学
Date Granted
平成4年3月5日
Date Granted (W3CDTF)
1992
Dissertation Number
乙第882号
Degree Type
工学博士