時空間分解発光分析法によるプラズマプロセシングガスのRFグロー放電構造の研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 時空間分解発光分析法によるプラズマプロセシングガスのRFグロー放電構造の研究
• Title Transcription: ジクウカン ブンカイ ハッコウ ブンセキホウ ニ ヨル プラズマ プロセシング ガス ノ RF グロー ホウデン コウゾウ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 杤久保文嘉 [著]
• Author Heading: 杤久保, 文嘉 トチクボ, フミヨシ
• Degree grantor/type: 慶應義塾大学
• Date Granted: 平成4年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 1992
• Dissertation Number: 甲第1130号
• Degree Type: 工学博士
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51; UT31
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-92-M92
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000252083; http://id.ndl.go.jp/bib/000000252083
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

もくじ

1 緒論

1.1 プラズマプロセシング

1.2 RFグロー放電研究の現状