Growth processes of silicon thin films in various structural phases manufactured from silicon tetrafluoride at low temperatures

• Material Type: 博士論文
• Title: Growth processes of silicon thin films in various structural phases manufactured from silicon tetrafluoride at low temperatures
• Author/Editor: 中田眞佐美 [著]
• Author Heading: 中田, 眞佐美 ナカタ, マサミ
• Alternative Title: フッ素系原料ガスによるシリコン薄膜の低温成長過程についての研究 フッソケイ ゲンリョウ ガス ニ ヨル シリコン ハクマク ノ テイオン セイチョウ カテイ ニ ツイテ ノ ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東京工業大学
• Date Granted: 平成4年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 1992
• Dissertation Number: 甲第2485号
• Degree Type: 工学博士
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51; UT31
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-92-N121
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000252733; http://id.ndl.go.jp/bib/000000252733
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

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Chapter 1 Introduction

1.1 Background of this thesis

1.2 Growth mechanism of amorphous and crystalline silicon from SiH₄