水素化アモルファス炭化シリコン膜の構造と電気的特性
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Table of Contents
第一章 序論
p1
§1.1 本研究の背景
p1
§1.2 アモルファスシリコンおよびその合金系の物性
p3
§1.3 水素化アモルファス炭化シリコンの応用
p5
§1.4 本研究の目的と構成
p7
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- スイソカ アモルファス タンカ シリコンマク ノ コウゾウ ト デンキテキ トクセイ
- Author/Editor
- 田畑彰守 [著]
- Author Heading
- 田畑, 彰守 タバタ, アキモリ
- Degree grantor/type
- 名古屋大学
- Date Granted
- 平成4年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1992
- Dissertation Number
- 甲第2640号
- Degree Type
- 工学博士