多結晶シリコン膜の電気特性と粒界トラップエネルギー分布に関する研究
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Table of Contents
論文目録
目次
記号の説明
p1
1 序論
p1
1.1 多結晶シリコン膜の特徴とデバイスへの応用
p1
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- タケッショウ シリコンマク ノ デンキ トクセイ ト リュウカイ トラップ エネルギー ブンプ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 山本一郎 [著]
- Author Heading
- 山本, 一郎 ヤマモト, イチロウ
- Degree grantor/type
- 慶應義塾大学
- Date Granted
- 平成4年9月14日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1992
- Dissertation Number
- 甲第1180号
- Degree Type
- 工学博士