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博士論文

多結晶シリコン膜の電気特性と粒界トラップエネルギー分布に関する研究

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多結晶シリコン膜の電気特性と粒界トラップエネルギー分布に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-92-U82
Bibliographic ID of National Diet Library
000000255581
Persistent ID (NDL)
info:ndljp/pid/3090861
Material type
博士論文
Author
山本一郎 [著]
Publisher
-
Publication date
-
Material Format
Paper・Digital
Capacity, size, etc.
-
Name of awarding university/degree
慶應義塾大学,工学博士
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  • 論文目録

  • 目次

  • 記号の説明

    p1

  • 1 序論

    p1

  • 1.1 多結晶シリコン膜の特徴とデバイスへの応用

    p1

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Paper Digital

Material Type
博士論文
Title
多結晶シリコン膜の電気特性と粒界トラップエネルギー分布に関する研究
Title Transcription
タケッショウ シリコンマク ノ デンキ トクセイ ト リュウカイ トラップ エネルギー ブンプ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
山本一郎 [著]
Author Heading
山本, 一郎 ヤマモト, イチロウ
Degree grantor/type
慶應義塾大学
Date Granted
平成4年9月14日
Date Granted (W3CDTF)
1992
Dissertation Number
甲第1180号
Degree Type
工学博士