Preparation of coating films by the sol-gel method and application to fine-patterning process for optical memory disk substrates

• Material Type: 博士論文
• Title: Preparation of coating films by the sol-gel method and application to fine-patterning process for optical memory disk substrates
• Author/Editor: 松田厚範 [著]
• Author Heading: 松田, 厚範 マツダ, アツノリ
• Alternative Title: ゾル-ゲル法によるコーティング薄膜の作製と光ディスク基板のための微細加工プロセスへの応用 ゾル - ゲルホウ ニ ヨル コーティング ハクマク ノ サクセイ ト ヒカリ ディスク キバン ノ タメ ノ ビサイ カコウ プロセス エ ノ オウヨウ
• Degree grantor/type: 大阪府立大学
• Date Granted: 平成4年11月20日
• Date Granted (W3CDTF): 1992
• Dissertation Number: 乙第712号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-93-A25
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000255996; http://id.ndl.go.jp/bib/000000255996
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

1.General Introduction

2.Preparation of Alkali Passivation Coating Films by the Sol-Gel Method

2.1.Preparation of B₂O₃-SiO₂ Coating Films

2.2.Influences of Humidity in the Atmosphere on the Formation of B₂O₃-SiO₂ Coating Films