樹脂封止型半導体装置内半導体素子応力測定に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 樹脂封止型半導体装置内半導体素子応力測定に関する研究
• Title Transcription: ジュシ フウシガタ ハンドウタイ ソウチナイ ハンドウタイ ソシ オウリョク ソクテイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 三浦英生 [著]
• Author Heading: 三浦, 英生, 1958- ミウラ, ヒデオ, 1958- ( 01154550 )Authorities
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成4年9月9日
• Date Granted (W3CDTF): 1992
• Dissertation Number: 乙第5841号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-93-A251
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000256222; http://id.ndl.go.jp/bib/000000256222
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 緒論

第2章 素子応力の3次元成分分離測定法に関する研究

2.1 緒言

2.2 ピエゾ抵抗効果の概要と3次元応力成分分離法