シリコン微細加工技術を応用した圧力の流れの計測手法に関する研究
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Table of Contents
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目次
p1
第1章 序論
p1
1.1 緒言
p1
1.2 シリコンマイクロマシーニング技術の概要
p1
1.3 従来の研究
p2
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- シリコン ビサイ カコウ ギジュツ オ オウヨウシタ アツリョク ノ ナガレ ノ ケイソク シュホウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 田畑修 [著]
- Author Heading
- 田畑, 修, 1956- タバタ, オサム, 1956- ( 00674558 )Authorities
- Degree grantor/type
- 名古屋工業大学
- Date Granted
- 平成5年3月23日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 甲第106号
- Degree Type
- 博士 (工学)