低エネルギー集束イオンビームによるGaAsのドライエッチング過程と照射損傷に関する研究
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Table of Contents
目次
p3
第1章 序論
p1
1-1 集束イオンビームプロセスの動向と問題点
p1
1-2 本研究の目的
p3
1-3 論文の構成
p5
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- テイエネルギー シュウソク イオン ビーム ニ ヨル GaAs ノ ドライ エッチング カテイ ト ショウシャ ソンショウ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 小杉敏彦 [著]
- Author Heading
- 小杉, 敏彦 コスギ, トシヒコ
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成5年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 甲第4820号
- Degree Type
- 博士 (工学)