表面定量分析の精度向上に関する研究 : 二次イオン質量分析法およびラザフォード後方散乱法を中心として

• Material Type: 博士論文
• Title: 表面定量分析の精度向上に関する研究 : 二次イオン質量分析法およびラザフォード後方散乱法を中心として
• Title Transcription: ヒョウメン テイリョウ ブンセキ ノ セイド コウジョウ ニ カンスル ケンキュウ : ニジ イオン シツリョウ ブンセキホウ オヨビ ラザフォード コウホウ サンランホウ オ チュウシン ト シテ
• Author/Editor: 草尾健司 [著]
• Author Heading: 草尾, 健司 クサオ, ケンジ
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成4年12月28日
• Date Granted (W3CDTF): 1992
• Dissertation Number: 乙第5865号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-93-E288
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000258070; http://id.ndl.go.jp/bib/000000258070
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

序論

第1章 SIMSとRBSの相補的役割の検討

1.1 はじめに

1.2 表面分析法を中心としたキャラクタリゼーション技術の発展