プロセス用ECRプラズマの特性とその応用に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: プロセス用ECRプラズマの特性とその応用に関する研究
• Title Transcription: プロセスヨウ ECR プラズマ ノ トクセイ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 白井光雲 [著]
• Author Heading: 白井, 光雲 シライ, コウウン ( 01226365 )Authorities
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成4年12月28日
• Date Granted (W3CDTF): 1992
• Dissertation Number: 乙第5867号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-93-E290
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000258072; http://id.ndl.go.jp/bib/000000258072
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第一章 序論

§1.1 プラズマプロセスの歴史的発展とその意義

§1.2 ECRプラズマプロセス

§1.3 プラズマプロセスの研究の現状