100mm級偏向電子線による大面積電子デバイスの直接露光技術の研究
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Table of Contents
目次
第1章 序論
p1
第2章 大面積偏向大電流電子光学系の設計
p7
2-1 緒言
p7
2-2 電子光学系の仕様と設計フローの抽出
p8
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- 100mmキュウ ヘンコウ デンシセン ニ ヨル ダイメンセキ デンシ デバイス ノ チョクセツ ロコウ ギジュツ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 星之内進 [著]
- Author Heading
- 星之内, 進 ホシノウチ, ススム
- Degree grantor/type
- 大阪大学
- Date Granted
- 平成4年12月28日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1992
- Dissertation Number
- 乙第5872号
- Degree Type
- 博士 (工学)