走査型トンネル顕微鏡を用いた半導体デバイス・プロセス評価の研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 走査型トンネル顕微鏡を用いた半導体デバイス・プロセス評価の研究
• Title Transcription: ソウサガタ トンネル ケンビキョウ オ モチイタ ハンドウタイ デバイス プロセス ヒョウカ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 谷本正文 [著]
• Author Heading: 谷本, 正文 タニモト, マサフミ
• Degree grantor/type: 慶應義塾大学
• Date Granted: 平成5年1月20日
• Date Granted (W3CDTF): 1993
• Dissertation Number: 乙第2556号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-93-E453
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000258235; http://id.ndl.go.jp/bib/000000258235
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

論文目録

目次

第1章 序論

1.1 半導体表面微小領域評価技術の置かれた位置

1.2 走査型トンネル顕微鏡の研究経過