Studies on photoacid generation from aromatic sulfonates : mechanistic investigation and application to resist materials

• Material Type: 博士論文
• Title: Studies on photoacid generation from aromatic sulfonates : mechanistic investigation and application to resist materials
• Author/Editor: 内藤和彦 [著]
• Author Heading: 内藤, 和彦 ナイトウ, カズヒコ
• Alternative Title: 芳香族スルホネート類からの光酸発生に関する研究 : 反応機構の研究とレジスト材料への応用 ホウコウゾク スルホネートルイ カラ ノ ヒカリ サン ハッセイ ニ カンスル ケンキュウ : ハンノウ キコウ ノ ケンキュウ ト レジスト ザイリョウ エ ノ オウヨウ
• Degree grantor/type: 千葉大学
• Date Granted: 平成5年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1993
• Dissertation Number: 甲第989号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-93-H292
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000259169; http://id.ndl.go.jp/bib/000000259169
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

Contents

Chapter 1 General Introduction

References

Chapter 2 Photoinduced Intramolecular Electron Trasnfer Mechanism for Photochemical Dissociation of Para-Substituted Benzyl 9,10-Dimethoxyanthracene-2-sulfonates

Abstract