単結晶シリコンの超精密研削に関する研究
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Table of Contents
目次
p1
第1章 緒論
p1
第1節 本研究の背景と目的
p1
第2節 本研究の内容
p4
第3節 本論文の構成と概要
p8
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title
- Title Transcription
- タンケッショウ シリコン ノ チョウセイミツ ケンサク ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 呉東權 [著]
- Author Heading
- 呉, 東權 ウー, トンチュアン
- Degree grantor/type
- 千葉大学
- Date Granted
- 平成5年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 甲第991号
- Degree Type
- 博士 (工学)