スチレン系ポリスルホンの合成及びポジ型レジスト高分子への応用
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Table of Contents
目次
p1
第一章 研究の背景と目的
p1
1.1 ポリスルホン
p1
1.2 レジストについて
p3
1.3 本研究の目的及び方法
p5
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- スチレンケイ ポリスルホン ノ ゴウセイ オヨビ ポジガタ レジスト コウブンシ エ ノ オウヨウ
- Author/Editor
- 金炳圭 [著]
- Author Heading
- 金, 炳圭 キム, ビョンキュウ
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成5年3月25日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 甲第4838号
- Degree Type
- 博士 (工学)