ペンタメトキシタンタルからの高耐食性Ta[2]O[5]薄膜の化学気相析出に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: ペンタメトキシタンタルからの高耐食性Ta[2]O[5]薄膜の化学気相析出に関する研究
• Title Transcription: ペンタメトキシ タンタル カラ ノ コウタイショクセイ Ta2O5 ハクマク ノ カガク キソウ セキシュツ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 安春鎬 [著]
• Author Heading: 安, 春鎬 アン, チュンホ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成5年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 1993
• Dissertation Number: 甲第4856号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Alias of Author: An, Shoon-ho
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-93-G278
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000000259726; http://id.ndl.go.jp/bib/000000259726
• Bibliographic Record Category (NDL): 213

Table of Contents

目次

第1章 序論

参考文献

第2章 実験方法

2.1 薄膜の作製