半導体バイポーラ型デバイスの高性能化に関する研究
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Table of Contents
目次
p1
第1章 序論
p3
1.1 はじめに
p3
1.2 不純物拡散プロセスの課題
p5
1.3 不純物拡散とデバイス特性
p8
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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- ハンドウタイ バイポーラガタ デバイス ノ コウセイノウカ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 稲庭桂造 [著]
- Author Heading
- 稲庭, 桂造 イナニワ, ケイゾウ
- Degree grantor/type
- 東北大学
- Date Granted
- 平成5年2月10日
- Date Granted (W3CDTF)
- 1993
- Dissertation Number
- 乙第5951号
- Degree Type
- 博士 (工学)